Co_<0.9>Fe_<0.1>-AlO_xNOL中への強磁性メタルナノコンタクトの形成に関する研究(磁気記録)
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概要
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We tried to fabricate pure Co_<0.9>Fe_<0.1> ferromagnetic metal nano-contacts in the insulator layer of AlO_x. First, we verified the effect of natural oxidation (N.O.) and in-situ annealing process, and we clarified title formation mechanism of Co_<0.9>Fe_<0.1>-AlO_x NOL. In N.O. process, Al is migrated from Co_<0.9>Fe_<0.1>/Al mixing layer (as deposition state) and cohered on the surface by oxygen. As the result, Co_<0.9>Fe_<0.1> path is pure. By in-situ annealing, Al near the surface migrate to the Co_<0.9>Fe_<0.1>/Al mixing surface by residual oxygen in the ultrahigh vacuum chamber, and the other Al diffuse to Co_<0.9>Fe_<0.1> at the same time. Next, we observed the surface of Co_<0.9>Fe_<0.1>-AlO_x NOL by in-situ conductive AFM (c-AFM). We confirmed the metal paths in an area with a diameter of about 1 nm.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2008-05-01
著者
-
佐橋 政司
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
土井 正晶
東北大学大学院工学研究科
-
佐橋 政司
(株)東芝 研究開発センター
-
佐藤 政司
(株)東芝研究開発センター、材料・デバイス研究所
-
佐橋 政司
東北大学 大学院工学研究科 電子工学専攻
-
佐橋 政司
東北大工
-
土井 正晶
東北大工
-
塩川 陽平
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
河崎 昇平
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
真野 知典
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
志尾崎 涼
東北大学大学院工学研究科電子工学専攻
-
佐橋 政司
東北大学大学院工学研究科 電子工学専攻
-
佐橋 政司
東北大学大学院工学研究科
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