超音波モーター駆動用圧電振動子(圧電デバイス・材料,強誘電体材料,有機エレクトロニクス,一般)

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概要

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比較的高い振動数で低速・大トルクという超音波モーターを精密位置制御アクチュエータへ応用することを想定して金属との複合体ではなく、圧電セラミック単体でしかも一電源で駆動できる超音波モーターについて検討した。その結果、一次縦振動の周波数と二次撓み振動の周波数を一致させ、二つのモードを結合させた矩形板状圧電セラミックに斜対称のS字状の電極を設けて励振することにより、超音波モーターを駆動可能な楕円状の軌跡を描いて振動する圧電振動子を得た。この素子を用いて回転運動および直線運動を実現することができた。
社団法人電子情報通信学会の論文
2006-06-23

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