三磁極マグネトロンスパッタリング法によるNi-Cr合金薄膜の作成

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概要

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• 1999-01-01

著者

• 深海 龍夫

  信州大学工学部電気電子工学科

• 深海 龍夫

  信州大学 工学部

• 松原 秀樹

  信州大学 工学部

• 山下 昌三

  KOA(株)

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