反応性スパッタリングによるアナターゼ光触媒薄膜形成におけるスパッタガス圧の影響

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概要

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光触媒効果を示す二酸化チタンは、薄膜の形で用いるのが利用しやすい。本研究ではスパッタ法によって、様々なガス圧力でアナターゼ型二酸化チタン薄膜を作製し、その光触媒効果を検証した。ガス圧力の違いにより膜の構造が変化し、その光触媒効果にも大きな差が出ることが確認された。また、XPSによる元素存在比の測定から、光触媒効果と酸素空位との間に密接な関係があり、酸素空位がドナーとして働くため、ドナー濃度が多いほど光触媒効果が活性になることがわかった。ドナー濃度を増加させるため、Nbをドープした試料では、黄色に着色しており、その透過スペクトルから可視光域の吸収が見られ、可視光応答性を示す可能性が示唆された。
2002-11-06

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