TiO_2:Ptスパッタ膜の酸素センサおよび光触媒への応用
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概要
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マグネトロンスパッタにより作製されたTiO_2:Pt膜の酸素センセング特性および光触媒効果を観察した。理論空燃比において急激に抵抗が変化するTiO_2:Pt薄膜は、酸化あるいは還元雰囲気を容易に判別することができる。ZnCr_2O_4やTiO_2:V_2O_5などの温度補償サーミスタを用いたTiO_2:Pt集積型酸素センサは、広い温度領域で温度の影響を受けずに安定した出力を示す。薄膜の光触媒効果はルチル構造よりアナタース構造の方がはるかに効果的である。薄膜中の白金量は結晶構造および光触媒効果に顕著な影響を及ぼし、白金量が1.3%の試料において最大光触媒効果を示した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-11-07
著者
-
深海 龍夫
信州大学工学部電気電子工学科
-
柄沢 潤一
信州大学工学部
-
盛 建新
東光株式会社研究開発部
-
盛 建新
信州大学工学部
-
Shivalingappa L.
信州大学工学部
-
深海 龍夫
信州大学工学部
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