スパッタ法による二酸化チタン薄膜の形成
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概要
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本研究では独自のマグネトロンスパッタ装置を置いて、低温で様々なアナターゼ型二酸化チタン(TiO_2)薄膜を作製することに成功した。TiO_2薄膜の表面に白金をコーティングすると、大幅に光触媒効果が向上した。TiO_2薄膜の膜厚が変化すると、光触媒効果に影響が認められ、この現象を溶液-TiO_2薄膜接触における空乏層幅との関連から検討した。さらに可視光感受性を向上させるために、TiO_2と五酸化バナジウム(V_2O_5)との固溶体を作製して分光スペクトルを観測し、光学的バンドギャップが変化することを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1998-10-29
著者
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