積層型ディジタル圧電/電歪アクチュエータ
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概要
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近年のナノテクノロジーの著しい発展に伴い微小変位アクチュエータは、より高精度なものが要望されるようになった。しかしながら、従来の電圧制御アナログ式圧電アクチュエータでは、変位の履歴特性等のため要請に応え難い。そこで、我々は駆動枚数により変位制御を行う積層型ディジタルアクチュエータを考案し、さらに電歪材料の使用により履歴及び非線形性が解消できたので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1996-03-11
著者
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