ポリイミドを用いた可変形ミラーの試作
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概要
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A deformable mirror is a device for controlling the wavefront and beam shape by adjusting its surface shape. This device has been introduced into an astronomical telescope and a femtosecond laser. Conventional deformable mirrors are mechanically and thermally unstable due to their membranous structures. We fabricated a new type of deformable mirror with a polyimide substrate. Its structure is supported with aluminum rods to prevent instability. The device was fabricated by means of silicon processing and electronic packaging technology. We obtained the following performance characteristics : a maximum surface displacement of 10 μm and a minimum response time of 30 s.
- 東海大学の論文
- 2005-03-31
著者
-
若木 守明
東海大学工学部
-
板谷 太郎
産業技術総合研究所
-
若木 守明
東海大学工学
-
樋口 哲也
(株)進化システム総合研究所
-
松縄 哲明
東海大学工学研究科光工学専攻博士課程前期
-
GORWADKAR Sucheta
産業技術総合研究所光技術研究部門
-
塩谷 陽則
産業技術総合研究所光技術研究部門
-
松縄 哲明
筑波大学大学院 システム情報工学研究科
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