ポリイミドを用いた可変形ミラーの試作
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A deformable mirror is a device for controlling the wavefront and beam shape by adjusting its surface shape. This device has been introduced into an astronomical telescope and a femtosecond laser. Conventional deformable mirrors are mechanically and thermally unstable due to their membranous structures. We fabricated a new type of deformable mirror with a polyimide substrate. Its structure is supported with aluminum rods to prevent instability. The device was fabricated by means of silicon processing and electronic packaging technology. We obtained the following performance characteristics : a maximum surface displacement of 10 μm and a minimum response time of 30 s.
- 東海大学の論文
- 2005-03-31
著者
-
若木 守明
東海大学工学部
-
板谷 太郎
産業技術総合研究所
-
若木 守明
東海大学工学
-
樋口 哲也
(株)進化システム総合研究所
-
松縄 哲明
東海大学工学研究科光工学専攻博士課程前期
-
GORWADKAR Sucheta
産業技術総合研究所光技術研究部門
-
塩谷 陽則
産業技術総合研究所光技術研究部門
-
松縄 哲明
筑波大学大学院 システム情報工学研究科
関連論文
- Hiigh-k/3-5界面の組成・構造とMIS特性との関係 (シリコン材料・デバイス)
- C-4-11 光伝導半導体と4K冷凍機を用いる高感度THz検出器システム(C-4. レーザ・量子エレクトロニクス,一般セッション)
- キシリトール石灰化促進剤を用いたハイドロキシアパタイトへの石灰化効果の研究
- 横方向電界印加型多重量子井戸からのテラヘルツ波発生
- Influential領域を導入した適応型光近接効果補正技術の提案
- 適応型光近接効果補正技術の領域分割による高速化手法の提案と検証
- レイアウト設計後の最適化による光近接効果補正技術の提案
- High-k/III-V界面の組成・構造とMIS特性との関係(ゲート絶縁薄膜、容量膜、機能膜及びメモリ技術)
- 構造および光学的評価を用いたハイドロキシアパタイトに対する脱灰、石灰化処理効果の研究
- In-チオスピネル化合物FeIn_2S_4の構造パラメータ及び光学的性質