27p-A-15 スパッタ成膜ZnO光導波路の成膜条件と伝搬損失II
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1991-09-12
著者
-
若木 守明
東海大学工学部
-
若木 守明
東海大工
-
室谷 裕志
東海大学工学部光・画像工学科
-
安食 精一
(株)日本製鋼所室蘭製作所
-
石川 進太郎
東海大工
-
室谷 裕志
(株)日本製鋼所中研
-
倉田 保英
(株)日本製鋼所中研
-
石川 進太郎
東海大学工学研究科
-
倉田 保英
(株)日本製鋼所 中研
-
安食 精一
(株)日本製鋼所 中研
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