反転層容量における量子力学的効果が準静的C-V特性による界面準位密度の評価に及ぼす影響
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概要
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反転層における量子力学的効果が準静的C-V特性による界面準位密度評価に及ぼす影響を定量的に考察している.量子力学的効果が顕著に現れると予想される場合には, 従来の古典的解析では界面準位密度が過小評価されることが数値計算により示される.
- 1998-09-25
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