FDTDシミュレーション技術を用いた材料測定法に関する検討 : ミリ波帯金属表皮抵抗と半導体ウェハを含む誘電体板の測定(超高速・超高周波デバイス及びIC/一般)
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概要
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本報告は,FDTD電磁界シミュレーションを駆使して行う電磁波材料の簡易測定法を検討している.はじめに,矩形空洞共振器を用いた誘電体測定結果を示し,材料形状に対する制約の問題を検討している.次に,NRDガイド共振器を用いた金属表皮抵抗の測定法を提案している.続いて,誘電体板と半導体ウェハの測定法を検討している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-01-10
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