固相成長多結晶シリコン膜の電気的特性の解析
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概要
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固相成長多結晶Si膜の電気的特性について議論する。固相成長多結晶シリコン膜の結晶粒と結晶粒界特性を解析する。また、XeClエキシマーレーザー照射と高圧水蒸気熱処理による電気的特性の改善を示す。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2001-12-13
著者
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