ダイヤモンド膜のパルス放電プラズマCVDによる作製と膜質の制御

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概要

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• DCプラズマCVDでダイヤモンド膜を作成する場合に,放電をパルス化することにより膜質を制御することができた.パルスの繰り返し周期を長くすることと,デューティ比を小さくすることにより結晶性をよくすることができた.放電開始時における電流ピークの形成と,放電後の放電しない時間を長くすることによっても膜質を改善することができた.これらの結果は,結晶性の改善が,放電開始時に電子温度の高い電子が形成されることと,放電していないときに非ダイヤモンド成分がエッチングにより除去されることに起因していることを示唆している.

• 社団法人電子情報通信学会の論文
• 1997-05-23

著者

• 野田 三喜男

  愛知教大

• Noda M

  Department Of Electronics Fukuoka Institute Of Technology

• 野田 三喜男

  愛知教育大学総合理学

• 野田 三喜男

  愛知教育大学

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