LQE2000-18 変調ドープ横方向伝導型赤外光検出器 : 構造、感度、スペクトル

元データ 2000-06-14

概要

自己組織化InAs量子ドットのサブバンド間遷移を用いた高感度の赤外光検出器を実現する目的で、変調ドープ横方向伝導型赤外光検出器(MD-QDIP)構造を提案し、試作した。検出器の性能を調べた結果、感度波長が3〜12μm、非常に高感度で高温動作が可能であることを確認した。光電流の時間波形の測定を行い、MD-QDIP中の光励起されたキャリア寿命とヘテロ界面-量子ドット間の距離dの関係を調べた。光キャリア寿命は、距離dが60nmの試料で、約3.2 μsと非常に長く、感度も距離dをの増加とともに指数関数的に増加することを確認した。さらに再結合確率の温度依存性を調べた結果、散乱時間を決める要因として70K以下の低温では音響フォノン、高温では光学フォノンによる散乱が支配的であることを確認した。

著者

平川 一彦 東大生研
李 承雄 東京大学生産技術研究所
広谷 仁寿 東京大学生産技術研究所
Lelong Ph. 東京大学生産技術研究所
平川 一彦 Jst-crest:東大生研:東大ナノ量子機構
榊 裕之 東京大学生産技術研究所
榊 裕之 東大先端研:新技術事業団
榊 裕之 東京大学先端科学技術研究センター
平川 一彦 東京大学生産技術研究所
平川 一彦 東京大
Lelong P 東大 生産技研
李 承雄 東京大学生産技術研究所:科学技術振興事業団

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