2Dフォトニック結晶を用いた光導波路
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概要
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1987年にE.YablonovitchやS.Johnらによって提唱されたフォトニック結晶は,内部に周期的な屈折率分布を有する光学材料であり,様々な光学デバイスへの応用が期待されている。我々は,2次元フォトニック結晶を作製し,有機EL素子と結合した光源の開発を目指している。フォトニック結晶を作製するにあたっては,酸素プラズマでの加工が容易な炭素系材料C-S-Au(炭素-硫黄-金)膜を用いた。C-S-Au膜の屈折率は最大で3.7である。リソグラフィープロセスにより,線状欠陥を有するC-S-Au膜の2次元フォトニック結晶を加工後,PMMAなどのポリマーをスピンコートして平坦化させ,光導波路を作製する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-01-17
著者
-
松下 雅樹
名古屋大学工学部
-
松下 雅樹
名古屋大学大学院 工学研究科
-
Kashem Md.
名古屋大学大学院 工学研究科
-
森田 慎三
名古屋大学工学部電気電子電子情報工学科
-
森田 慎三
名古屋大学
-
平野 幸典
名古屋大学大学院工学研究科
-
森田 慎三
名古屋大学工学部
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