C-S-Au膜の3次非線形電気光学効果特性
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概要
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3次の電気感受率χ^<(3)>として1.7×10^<-8> esuが、プラズマCVDとスパッタリング共同プロセスで作成されたC-S-Au膜によって測定された。これは、Nd YAGレーザを用いたMaker-fringe法によって測定された。このC-S-Au膜は、平行平板電極を有するプラズマCVD装置を用いたプラズマCVD、とグラファイト製上部電極上に金板を設置した電極のスパッタリングを同時に行い、ガラスとSiウェハー基板を下部電極上に置き、作成した。この膜は、炭素-硫黄-金(C-S-Au)の分子が、アモルファス炭素膜中に分散している構造をゆうしていると予測される。
- 2006-01-20
著者
-
落合 鎮康
愛知工業大学
-
加藤 慎也
名古屋大学工学研究科
-
鈴木 健志
名古屋大学工学部
-
加藤 慎也
名古屋大学大学院工学研究科情報工学専攻
-
森田 慎三
名古屋大学工学研究科
-
鈴木 幹典
名古屋大学大学院工学研究科電子情報システム専攻
-
森田 慎三
名古屋大学
-
鈴木 幹典
名古屋大学工学研究科
-
落合 鎮康
愛知工業大学工学部
-
落合 鎮康
愛知工業大学工学部電気工学科
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