高周波マグネトロンスパッタリングによる YBaCuO 系超伝導膜の膜厚特性
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概要
著者
-
前田 昭徳
愛知工業大学
-
落合 鎮康
愛知工業大学
-
大橋 朝夫
愛知工業大学
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小嶋 憲三
愛知工業大学
-
内田 悦行
愛知工業大学
-
古橋 秀夫
愛知工業大学 電気学科 情報通信工学専攻
-
古橋 秀夫
愛知工大
-
前田 昭徳
愛知工業大学 工学部 電気工学科
-
神野 誠
愛知工業大学工学部
-
高嶋 修
愛知工業大学工学部
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