MPF光導波路の作成
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概要
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薄膜光導波路の曲線部の曲率半径を小さくするためには,透明微小球配列が有効であることを確認した.本研究では,リソグラフィ加工した円柱配列によって微小球と同等の光回路の製作を試みた.ネサガラス基板上に,ネガレジスト特性を有するポリスチレンをスピンコート法で厚さ約3μmの膜を作成し,直径5μmと10μmの円柱配列を描画し,現像して,製作した.この円柱直線配列のレーザ光(波長670nm)の伝送損失は0.30dB/poleと0.75dB/poleであった.しかし,電子線描画した円柱配列パターンは近接効果のため,接点が分離されていなかった.そこで,円柱接点を中心に一定範囲で電子照射量を滅する手法を用いた結果,近接効果を軽減することに成功した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2003-01-17
著者
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森田 慎三
名古屋大学工学研究科
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森田 慎三
名古屋大学大学院工学研究科
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森田 慎三
名古屋大学工学部電気電子電子情報工学科
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森田 慎三
名古屋大学
-
山崎 周郎
名古屋大学大学院工学研究科
-
山崎 周郎
名古屋大学工学部
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森田 慎三
名古屋大学工学部
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