レーザアニール法を用いた薄膜EL素子の作製(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
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概要
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レーザアニール法を用いてプラスチック基板上でZnS : Mn薄膜の結晶化を試みた。さらに、フレキシブルZnS : Mn薄膜EL素子を作製し、黄橙色の発光が得られた。この発光は、折り曲げた状態でも動作が確認できた。また、BaAl_2S_4 : Euについてレーザアブレーション法による薄膜作製条件を検討した。基板温度200℃、レーザフルエンス2.5J/cm^2で作製した薄膜が最も強い青色のPLを示した。レーザアニール法で熱処理を行った薄膜からも、微弱ではあるが青色のPLが得られた。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-01-21
著者
-
三浦 登
明治大学理工学部電子通信工学科
-
松本 皓永
明治大学理工学部電子通信工学科
-
中野 鐐太郎
明治大学理工学部電子通信工学科
-
山崎 将人
明治大学理工学部電子通信工学科
-
三浦 登
明治大学理工学部
-
松本 皓永
明治大学理工学部
-
中野 鐐太郎
明治大学理工学部
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