スパッタリング法によるSi添加AlN:Eu薄膜EL素子の作製

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概要

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• 2010-01-28

著者

• 三浦 登

  明治大学理工学部電子通信工学科

• 松本 皓永

  明治大学理工学部電子通信工学科

• 中野 鐐太郎

  明治大学理工学部電子通信工学科

• 稲田 育弘

  明治大学理工学部電子通信工学科

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