AlGaN/GaN多重量子井戸におけるサブバンド間遷移
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概要
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窒化物半導体中多重量子井戸には大きな格子歪みが存在し、これが結晶性、バンド間発光特性、そしてサブバンド間遷移(ISBT)に、どのような影響を及ぼすか考察を行った。井戸層中には障壁層厚と井戸層厚の比で決まる、歪みに起因した内部電界が発生し、バンド間発光波長とISBT波長とは1対1には対応しない。また障壁が厚い場合には歪みエネルギーが増大し、格子が部分的に緩和した状態になる。障壁層厚を薄めに設定することで、障壁のAl組成が65%で井戸数が200ものMQW構造や、Al組成が85%と非常に高い障壁のMQW構造を作製、いずれもサブバンド間吸収の観測に成功した。
- 1999-10-22
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