サブミクロン分解能を持つ極低温顕微ホトルミネセンス測定装置

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概要

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通常の光学系を用いた顕微ホトルミネセンス(PL)観測装置では、光プローブ顕微鏡に比べて分解能で劣るものの、高感度で良好なS/N比をもってPLを観測することができる。本研究では、大きな開口数をもつ高分解能対物レンズをクライオスタット内に装填した新しい顕微PL装置を開発し、極低温で分解能がサブミクロンのPL像を得た。試料の最低到達温度は15Kであった。MOMBE成長GaAs_<0.67>P_<0.33>の顕微PL像を測定することで、開口数から期待される理論限界(波長666nmにおいて0.35μm)とほぼ同じ分解能を得ていることを確認した。また、MBE成長GaNにおける、立方晶と六方晶の混在の様子を2次元的に観察した。
社団法人電子情報通信学会の論文
1999-10-21

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