ジョセフソン回路における接地面下配線による電源供給方式(試作・評価)
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概要
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ジョセフソン回路の高集積化と信頼性向上のため接地面の下に電源線を配置した構造を開発した。従来構造では電源電流による磁場がゲートの特性に影響を与えることが観測された。しかし、電源線を接地面の下にすることにより磁場の影響をなくすことができた。また、電源線の上にゲートを配置することができるようになり、従来と同じ加工技術を用いても集積度の向上が期待できる。本構造を用いた4ビットシフトレジスタの完全動作を確認し、500段ゲートチェーンの測定から平均ORゲート遅延8.0psを得た。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-12-08
著者
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