超伝導X線検出器用Nb/Al-AlO_x-Al/Ta/Nb接合の作成
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概要
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エネルギー分解能が高い超伝導X線検出器としてNb, Al-AlOx-Al/Ta/Nb接合を作成した。接合構造は準粒子の生成、収集効率を高める様に設計されている。高性能なX線検出器として動作するためには、X線検出技術と共に高品質接合作成技術が必要である。素子特性のAl堆積速度依存性を調べ、素子特性がAl堆積速度に強く依存することを明らかにした。速いAl堆積速度で作成した接合のサブキャップリーク電流は非常に小さな値を示した(測定温度0.5Kにおいてバイアス電圧100mVで〈200nA)。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-12-14
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