垂直共振器型面入出力光電融合素子の熱解析
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概要
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二次元光機能インターコネクションの実現を目指して二次元アレイ化に適した面入出力光電融合素子(VSTEP)の研究を行っている。今後、光インターコネクションのチャネル数を増やしていく上で上記素子の高密度集積化が必要となる。それにともない素子の発熱の問題が重要となってくる。そこで,今回まず単体のVSTEPについて素子構造、素子抵抗による活性層温度分布の違いを有限要素法を用いた解析と測定から評価した。さらに複数素子が同時に動作した際の素子間相互の熱的クロストークが個々の素子特性にいかなる影響を及ぼすかについて実験的に確認を行った。この結果、VSTEPが高密度集積化に向けて良好な熱特性を示すことが明らかとなったので報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1993-10-29
著者
-
小坂 英男
Nec光エレクトロニクス研究所
-
小倉 一郎
Nec光エレクトロニクス研究所
-
梶田 幹浩
NEC光エレクトロニクス研究所
-
栗原 香
NEC光エレクトロニクス研究所
-
笠原 健一
NEC光エレクトロニクス研究所
-
斎藤 英彰
Nec 光・無線デバイス研究所
-
斎藤 英彰
日本電気(株)光・超高周波デバイス研究所
-
斎藤 英彰
NEC光エレクトロニクス研究所
-
沼居 貴陽
NEC
-
杉本 満則
NEC
-
沼居 貴陽
NEC光エレクトロニクス研究所
-
斎藤 英彰
NEC光・超高周波デバイス研究所
-
杉本 満則
NEC光エレクトロニクス研究所
-
笠原 健一
Nec光エレクトロニクス研究所 光基礎研究部
-
栗原 香
NEC 光・無線デバイス研究所
-
栗原 香
Nec光エレクトロニクス研究所 光基礎研究部
-
小倉 一郎
NEC システムデバイス・基礎研究本部
-
笠原 健一
NEC Research Institute, Inc.
-
小坂 英男
NEC 光エレクトロニクス研究所
-
梶田 幹浩
NEC 光エレクトロニクス研究所
-
斎藤 英彰
Nec
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