HMCZ 法による12"φSi 単結晶の育成 : バルク成長 II チョコラルスキー法
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1996-07-10
著者
-
木村 雅規
信越半導体
-
木村 雅規
信越半導体(株)半導体磯部研研究所
-
村岡 正三
信越半導体
-
山岸 浩利
(株)スーパーシリコン研究所
-
高野 清隆
スーパーシリコン研究所
-
村岡 正三
信越半導体(株)半導体磯部研研究所
-
飯野 栄一
信越半導体(株)半導体磯部研研究所
-
吉澤 健
信越半導体(株)半導体磯部研究所結晶研究部
-
高野 清隆
信越半導体(株)
-
山岸 浩利
信越半導体(株)
-
吉澤 健
信越半導体(株)
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