MCZ法シリコン単結晶中の成長縞に対するるつぼ回転の影響 : 融液成長IV
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1990-07-20
著者
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布施川 泉
信越半導体(株)白河工場
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山岸 浩利
(株)スーパーシリコン研究所
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山岸 浩利
信越半導体(株)
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布施川 泉
信越半導体(株)半導体磯部研究所
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布施川 泉
信越半導体
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柄沢 幸男
信越半導体・半導体磯部研
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