布施川 泉 | 信越半導体(株)半導体磯部研究所

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概要

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関連著者

• 布施川 泉

  信越半導体(株)白河工場

• 山岸 浩利

  (株)スーパーシリコン研究所

• 山岸 浩利

  信越半導体(株)

• 布施川 泉

  信越半導体(株)半導体磯部研究所

• 布施川 泉

  信越半導体

• 飯野 栄一

  信越半導体(株)半導体磯部研研究所

• 高野 清隆

  スーパーシリコン研究所

• 高野 清隆

  信越半導体(株)

• 藤巻 延嘉

  信越半導体株式会社半導体磯部研究所

• 藤巻 延喜

  信越半導体(株)半導体研究所

• 柄沢 幸男

  信越半導体・半導体磯部研

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著作論文

• 27pA6 CZシリコン単結晶中の格子間酸素濃度のミクロ変動と平衡偏析係数(バルク結晶成長シンポジウムIII)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)
• CZシリコン結晶中の格子間酸素濃度のミクロ変動(バルク結晶の成長(I))
• HMCZシリコン単結晶中の格子間酸素濃度のミクロ変動 : 融液成長VI
• シリコン融液表面の直按観察 : 融液成長V
• 石英隔壁侵潰による酸素濃度への影響 : 融液成長V
• as-grownシリコン単結晶中のフローパターンが結晶品質に与える影響 : 融液成長V
• シリコン単結晶中のD欠陥評価法の開発と結晶育成条件との対比への応用 : シンポジウムI
• シリコン融液表面の対流直接観察(バルク成長)
• MCZ法シリコン単結晶中の成長縞に対するるつぼ回転の影響 : 融液成長IV

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