飯野 栄一 | 信越半導体(株)半導体磯部研研究所

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概要

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関連著者

• 飯野 栄一

  信越半導体(株)半導体磯部研研究所

• 山岸 浩利

  (株)スーパーシリコン研究所

• 山岸 浩利

  信越半導体(株)

• 木村 雅規

  信越半導体

• 布施川 泉

  信越半導体(株)白河工場

• 木村 雅規

  信越半導体(株)半導体磯部研研究所

• 布施川 泉

  信越半導体(株)半導体磯部研究所

• 布施川 泉

  信越半導体

• 村岡 正三

  信越半導体

• 高野 清隆

  スーパーシリコン研究所

• 村岡 正三

  信越半導体(株)半導体磯部研研究所

• 高野 清隆

  信越半導体(株)

• 窪田 巖

  信越半導体(株)半導体磯部研研究所

• 吉澤 健

  信越半導体(株)半導体磯部研究所結晶研究部

• 吉澤 健

  信越半導体(株)

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著作論文

• シリコン融液中酸素濃度変動のルツボ回転速度依存性
• HMCZ 法による12"φSi 単結晶の育成 : バルク成長 II チョコラルスキー法
• 8"φHMCZ-Si単結晶の特性 : バルク成長シンポジウムI
• 27pA6 CZシリコン単結晶中の格子間酸素濃度のミクロ変動と平衡偏析係数(バルク結晶成長シンポジウムIII)(バルク結晶成長シンポジウム : バルク単結晶の新しい融液成長技術)
• CZシリコン結晶中の格子間酸素濃度のミクロ変動(バルク結晶の成長(I))
• HMCZシリコン単結晶中の格子間酸素濃度のミクロ変動 : 融液成長VI

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