村岡 正三 | 信越半導体(株)半導体磯部研研究所
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概要
関連著者
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著作論文
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- FZ結晶の成長縞とメルト対流の関係 : バルク成長 III 融液物性
- HMCZ 法による12"φSi 単結晶の育成 : バルク成長 II チョコラルスキー法