FZ結晶の成長縞とメルト対流の関係 : バルク成長 III 融液物性
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概要
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- 日本結晶成長学会の論文
- 1996-07-10
著者
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木村 雅規
信越半導体
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木村 雅規
信越半導体(株)半導体磯部研研究所
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村岡 正三
信越半導体
-
村岡 正三
信越半導体(株)半導体磯部研研究所
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吉澤 健
信越半導体(株)半導体磯部研究所結晶研究部
-
菊池 泰彦
信越半導体(株)半導体磯部研究所結晶研究部
-
吉澤 健
信越半導体(株)
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