超磁わい超精密位置決め装置とそれを搭載した超精密工作機械の開発
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概要
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A giant magnetostriction-type ultraprecision positioning device (GMUPD) was manufactured from newly developed giant magnetostriction materials with compositions of Tb_<1-x>Dy_x(Fe_yMn_<1-y>)_n. The output power of them is several times and the displacement is several ten times that of PZT without a magnifier. An ultraprecision machine tool was developed with the present GMUPD. The workpiece can be fed at a rate of 0.1 mm/min or 600 mm/min and is cut by a turning diamond tool. The hard and brittle materials such as glass and ceramics were finished in the ductile mode, and surface roughness was obtained within several nanometers.
- 1994-04-25
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