固定砥粒によるSiウエハの超精密加工に関する研究 : 遊離砥粒法に代わる新開発砥石

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概要

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• 公益社団法人精密工学会の論文
• 1995-10-05

著者

• 江田 弘

  茨城大学工学部

• 富田 洋司

  鐘紡(株)茨城大学大学院

• 中村 勝

  鐘紡(株)関東工場

• 富田 洋司

  茨城大学大学院

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