Si_3N_4-Al_2O_3-Y_2O_3-AlN焼結体の熱処理によるYAP相含有量及び焼結体特性の変化
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概要
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Changes of YAP-phase content and some properties by annealing the Si_3N_4-Al_2O_3-Y_2O_3-AlN ceramics have been studied. Annealing was performed at temperatures 1100-1500℃ for 1-10h under vacuum. Above 1200℃, the YAP-phase content in Si_3N_4 ceramics decreases on annealing and the YAG-phase precipitates. The precipitation of YAG-phase increases the high temperature hardness and chemical resistance to a HF+HNO_3 solution. The YAP-phase seems to be easily etched by the HF+HNO_3 solution and softened at high temperatures compared to YAG-phase.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1993-09-01
著者
-
石崎 幸三
長岡技術科学大学
-
山川 晃
住友電気工業(株)伊丹研究所
-
三宅 雅也
大阪ダイヤモンド工業(株)
-
三宅 雅也
住友電気工業(株)伊丹研究所
-
三宅 雅也
(株)アライドマテリアル
-
石崎 幸三
長岡技科大
-
山川 晃
住友電気工業 伊丹研
-
山川 晃
住友電気工業
-
三宅 雅也
住友電気工業(株)
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