超音波パルス透過法によるSi_3N_4セラミックスの均一性評価
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概要
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Homogeneity of Si_3N_4 ceramics has been evaluated by attenuation and velocity of longitudinal ultra sonic pulse. The Si_3N_4 ceramics examined are rolling rollers used in a copper wire milling machine with dimension of 200 mm outer diameter and 100 mm height, and sintered with 8 wt% AI_20_3 and 2 wt% MgO additions. Ultra sonic employed was low frequency waves of 3 MHz and 10 MHz. High attenuation and low ultra sonic velocity are observed for Si_3N_4 rolling rollers, which had cracks during milling process. Voids are found at the location where the attenuation and sound velocity changed. Defects can be found by this method non destructively not only for sintered ceramics but also for cold isostatically pressed green bodies.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1994-03-01
著者
-
石崎 幸三
長岡技術科学大学
-
山川 晃
住友電気工業(株)伊丹研究所
-
三宅 雅也
大阪ダイヤモンド工業(株)
-
三宅 雅也
住友電気工業(株)伊丹研究所
-
三宅 雅也
(株)アライドマテリアル
-
石崎 幸三
長岡技科大
-
山川 晃
住友電気工業 伊丹研
-
山川 晃
住友電気工業
-
三宅 雅也
住友電気工業(株)
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