Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB>/金属窒化物ナノ複合材の製造プロセスと微細構造
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概要
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The fabrication process and microstructure of Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB>-based nanocomposites were investigated for the improvement in fracture toughness. The fine Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB> powders containing metal nitride particles such as VN, NbN, TaN and TiN were synthesized by heating the mixtures of Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB> and corresponding metal oxide powders in a N<SUB>2</SUB> atmosphere. The obtained VN/Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB> and TiN/Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB> powders were confirmed to be very fine (20 to 30 nm in diameter). These composite powders were sintered with sintering aids. No improvement in fracture toughness for the VN/Si3N4 composites. For the TiN/Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB> composites, in which nano-sized TiN grains were dispersed within the Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB> matrix Brains, the fracture toughness was increased. This was probably due to crack propagation through intragrains of the Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB> matrix.
- 社団法人 粉体粉末冶金協会の論文
著者
-
新原 晧一
大阪大学産業科学研究所
-
山川 晃
住友電気工業(株)伊丹研究所
-
山川 晃
住友電気工業 伊丹研
-
松井 辰珠
住友電気工業(株)伊丹研究所
-
山川 晃
住友電気工業
-
松井 辰珠
住友電気工業 伊丹研
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