3D19 定力送り研削盤によるセラミックスの高能率、低欠陥密度薄膜加工

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 2002-09-22

著者

• 南口 誠

  長岡技科大

• 松丸 幸二

  長岡技術科学大学

• 南口 誠

  長岡技術科学大学

• 石崎 幸三

  長岡技術科学大学

• 金 賢眞

  長岡技術科学大学

• 高田 篤

  (株)ナノテム

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