定圧送り研削盤によるセラミックスの超平坦・薄板加工

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 2002-04-01

著者

• 石崎 幸三

  長岡技術科学大学

• 松丸 幸司

  長岡技術科学大学工学部機械系

• 松丸 幸司

  長岡技大

• 石崎 幸三

  長岡技科大

• 高田 篤

  Nano TEM Co., Ltd.

• 石〓 幸三

  長岡技術科学大学

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