新しい磁性薄膜インダクターの高周波への応用(<特集>セラミックスインテグレーション)

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概要

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• CoFeAlO nab-granular magnetic thin films were prepared by means of the inductively coupled radio frequency sputtering method. The self-resonant frequencies of the films were higher than 2 GHz, and magnetic permeability was higher than 100 even in the GHz region. Spiral inductors were fabricated on the (Co_<72>Fe_<17> Al_<11>) -O thin film and their high-frequency inductance was measured to confirm the effect of insertion of the film. At frequencies up to 2 GHz, the inductance of the spiral inductor on the film was increased to 20 percent. The films are suitable for magnetic applications in high-frcquency circuitry.

• 社団法人日本セラミックス協会の論文
• 2002-05-01

著者

• 近藤 龍一

  太陽誘電(株)ワイヤレスインフォメーションネットワークグループ先端材料デバイス部

• 池田 賢司

  太陽誘電株式会社

• 小林 和義

  太陽誘電株式会社

• 藤本 正之

  太陽誘電株式会社

• 池田 賢司

  太陽誘電(株)

• 小林 和義

  太陽誘電(株)

• 藤本 正之

  太陽誘電(株)

• 小林 和義

  太陽誘電(株)r&dセンター ワイヤレスインフォメーションネットワークgr. 先端材料デバイス部

• 藤本 正之

  太陽誘電(株)ワイヤレスインフォメーションネットワークグループ先端材料デバイス部

• 藤本 正之

  太陽誘電 R&dセ

• 近藤 龍一

  太陽誘電(株)

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