収束イオンビーム法による薄膜受動集積回路の局所微小領域観察

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概要

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• Focused ion beam (FIB) system was applied to sample preparation for local microscopic observation of passive thin-film elements integrated into a semiconductor substrate. The newly developed microsampling method is suitable not only for scanning electron microscopy (SEM) observation but also for transmission electron microscopy (TEM) observation. By adopting this method, microstructures and their ramifications in SrTiO_3 MIM (metal-insulator-metal) thin-film capacitors fabricated on integrated circuits were clearly revealed.

• 2002-05-01

著者

• 西 湯二

  太陽誘電株式会社

• 藤本 正之

  太陽誘電株式会社

• 藤本 正之

  太陽誘電(株)

• 藤本 正之

  太陽誘電(株)ワイヤレスインフォメーションネットワークグループ先端材料デバイス部

• 西 湯二

  太陽誘電(株)

• 岩崎 誉志紀

  太陽誘電(株)R & Dセンター 材料開発部

• 松下 祐二

  太陽誘電(株)ワイヤレスインフォーメーションネットワークグループ先端材料デバイス部

• 岩崎 誉志紀

  太陽誘電(株)ワイヤレスインフォーメーションネットワークグループ先端材料デバイス部

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