AlNセラミックスの熱伝導率に対するCF_4ガス雰囲気中加熱処理の効果
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概要
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For increasing the thermal conductivity of Ian ceramics, a reactive gas atmosphere was applied to the post-sintering process. The Ca con tent in the samples decreased as the temperature and time of the reactive gas treatment increased. The sample exposed to CF_4 gas for 5h at 1100℃ showed the thermal conductivity of 230 W/mK. It was suggested that under optimized conditions, selective reaction of the reactive gas with the secondary phase and/ or oxygen impurities segregated at the grain boundaries increased the thermal conductivity.
- 社団法人日本セラミックス協会の論文
- 1988-12-01
著者
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