31a-E-14 超高真空電顕法によるシリコン薄膜の電子線照射効果の研究

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 1997-03-17

著者

• 市橋 鋭也

  NEC基礎研究所

• 竹田 精治

  阪大理物

• 竹田 精治

  阪大理学研究科

• 飯島 澄男

  NEC基礎研

• Takeda Shingo

  Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology

• 市橋 鋭也

  Necナノエレクトロニクス研究所

• 市橋 鋭也

  Nec基礎・環境研究所

• 古戸 聖浩

  阪大基礎工

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