Evaluation of Lattice Strain in Silicon Substrate Beneath Aluminum Conductor Film Using High-Resolution X-Ray Microbeam Diffractometry
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-10-15
著者
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TSUSAKA Yoshiyuki
Graduate School of Material Science, University of Hyogo
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KAGOSHIMA Yasushi
Graduate School of Material Science, University of Hyogo
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Takeda Shingo
Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology
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Takeda Shingo
Graduate School Of Science Himeji Inst. Of Tech.
-
竹田 精治
大阪大学・大学院理学研究科
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竹田 精治
阪大・教養
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Kagoshima Y
Photon Factory National Laboratory For High Energy Physics
-
Kagoshima Yasushi
Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology
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Matsui Junji
Graduate School of Science, Himeji Inst. of Tech.
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YOKOYAMA Kazushi
Faculty of Science, Himeji Institute of Technology
-
KURIHARA Hideaki
Faculty of Science, Himeji Institute of Technology
-
URAKAWA Masafumi
Faculty of Science, Himeji Institute of Technology
-
WATANABE Kyoko
Faculty of Science, Himeji Institute of Technology
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KATOU Madomi
Faculty of Science, Himeji Institute of Technology
-
INOUE Naoyuki
Faculty of Science, Himeji Institute of Technology
-
MIYAMOTO Naoki
SPring-8 Service Co., Ltd.
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TSUSAKA Yoshiyuki
Faculty of Science, Himeji Institute of Technology
-
Matsui Junji
Faculty of Science, Himeji Institute of Technology
-
Watanabe Kyoko
Faculty Of Agriculture Tamagawa University
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Watanabe Kyoko
Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology
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Miyamoto N
Spring-8 Service Co. Ltd.
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Katou Madomi
Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology
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Matsui Junji
Center For Advanced Science And Technologies
-
Inoue Naoyuki
Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology
-
Kimura Hidekazu
Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology
-
Kurihara Hideaki
The Department Of Surgery The Jikei University School Of Medicine
-
Kagoshima Y
Graduate School Of Material Science University Of Hyogo
-
Tsusaka Yoshiyuki
Graduate School Of Material Science University Of Hyogo
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Tsusaka Yoshiyuki
Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology
-
Urakawa Masafumi
Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology
-
MIYAMOTO Naokazu
SPring-8 Service Co., Ltd.
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