31aYG-7 シリコン {113} 面欠陥の plan-view 高分解能電子顕微鏡観察
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 2003-03-06
著者
-
竹田 精治
阪大院理
-
Takeda Shingo
Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology
-
Takeda Shingo
Graduate School Of Science Himeji Inst. Of Tech.
-
竹田 精治
大阪大学・大学院理学研究科
-
竹田 精治
阪大・教養
-
坂本 竜一
阪大院理
-
Christian Kisielowski
NCEM, LBL
-
Uli Dahmen
NCEM, LBL
-
Uli Dahmen
Ncem Lbl
-
Christian Kisielowski
Ncem Lbl
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