19aTG-7 シリコンにおける照射誘起アモルファス化の温度依存性

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2001-09-03

著者

• 津田 健治

  東北大科研

• Takeda Shingo

  Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology

• Takeda Shingo

  Graduate School Of Science Himeji Inst. Of Tech.

• 山崎 順

  名古屋大学理工科学総合研究センター

• 竹田 精治

  大阪大学・大学院理学研究科

• 竹田 精治

  阪大・教養

• Tsuda Kenji

  Fujitsu Ltd.

• 山崎 順

  名大院・工

• 竹田 精治

  阪大院・理

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