28p-ZA-10 シリコンおける電子線照射誘起の非晶質化
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1999-03-15
著者
-
Takeda Shingo
Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology
-
山崎 順
名古屋大学理工科学総合研究センター
-
竹田 精治
大阪大学・大学院理学研究科
-
竹田 精治
阪大院・理
-
山崎 順
阪大院・理
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