高分解能電子顕微鏡法によるSi微小欠陥の観察
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概要
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- 社団法人日本物理学会の論文
- 1996-09-13
著者
-
市橋 鋭也
NEC基礎研究所
-
竹田 精治
阪大理物
-
竹田 精治
阪大理学研究科
-
飯島 澄男
NEC基礎研
-
Takeda Shingo
Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology
-
市橋 鋭也
Necナノエレクトロニクス研究所
-
市橋 鋭也
Nec基礎・環境研究所
-
古戸 聖浩
阪大基礎工
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