電子照射によるシリコンのアモルファス化とその素過程
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概要
著者
-
竹田 精治
大阪大学大学院理学研究科
-
Takeda Shingo
Faculty Of Science Himeji Institute Of Technology
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Takeda Shingo
Graduate School Of Science Himeji Inst. Of Tech.
-
山崎 順
名古屋大学エコトピア科学研究機構工学研究科
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山崎 順
名古屋大学理工科学総合研究センター
-
竹田 精治
大阪大学・大学院理学研究科
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竹田 精治
阪大・教養
-
山崎 順
名古屋大学エコトピア科学研究所
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