27pYC-10 シリコン表面ナノホールのexcavationメカニズム

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2001-03-09

著者

• 河野 日出夫

  大阪大学大学院理学研究科

• 竹田 精治

  阪大院理

• 河野 日出夫

  阪大院理

• 大野 裕

  阪大院理

• Ohno Y

  Jst‐presto Saitama Jpn

• Ohno Yoshikazu

  Ulsi Laboratory Mitsubishi Electric Corporation

• 馬淵 敏暢

  阪大院理

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