LSIにおける光配線技術

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概要

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• 応用物理学会の論文
• 2007-11-10

著者

• 横山 新

  広島大学 ナノデバイス・システム研究センター

• 横山 新

  広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

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